Методи та засоби контролю мікро- та наносистемної техніки

Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей ресурс: https://lib.lntu.edu.ua/uk/147258369/13924
Тип: Методички
  • 8 переглядів
Автор/укладач (Прізвище та ініціали, наприклад: Юзипчук В.Р.)
Денисюк В.Ю.
Назва методичних вказівок
Методи та засоби контролю мікро- та наносистемної техніки
Бібліографічний опис методичних вказівок
Методи та засоби контролю мікро- та наносистемної техніки : конспект лекцій для здобувачів другого (магістерського) рівня вищої освіти освітньої програми «Мікро- та наносистемна техніка» галузі знань 17 Електроніка, автоматизація та електронні комунікації спец. 176 Мікро- та наносистемна техніка денної та заоч. форм навч. / уклад. В.Ю. Денисюк. – Луцьк : ЛНТУ, 2023. – 180 с.
Ключові слова
Мікроскопія, зонд, зображення, вимірювання, контроль, поверхня, сканер, кантилевер, аналіз, спектр.
Факультет
2021 Факультет комп’ютерних та інформаційних технологій
Кафедра
Кафедра автоматизації та комп'ютерно-інтегрованих технологій (ТФ)
Рік видання
2023
Видавець
Луцьк : ЛНТУ
Ініціали працівника
Денисюк Віктор Юрійович
Факультет працівника
2021 Факультет комп’ютерних та інформаційних технологій
Кафедра працівника
Кафедра автоматизації та комп'ютерно-інтегрованих технологій (ТФ)