Бібліографічний опис методичних вказівок
Методи та засоби контролю мікро- та наносистемної техніки : метод. вказівки до практичних занять для здобувачів другого (магістерського) рівня вищої освіти освітньої програми «Мікро- та наносистемна техніка» галузі знань 17 Електроніка, автоматизація та електронні комунікації спец. 176 Мікро- та наносистемна техніка денної та заоч. форм навч. / уклад. В. Ю. Денисюк. Луцьк : ЛНТУ, 2024. 64 с.
Ключові слова
Скануючий зондовий мікроскоп, датчик, поверхня, зображення, роздільна здатність, спектроскопія, зонд, п’єзосканер, сигнал, керування.
