Методи та засоби контролю мікро- та наносистемної техніки

Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей ресурс: https://lib.lntu.edu.ua/uk/147258369/15286
Тип: Методички
  • 3 перегляди
Автор/укладач (Прізвище та ініціали, наприклад: Юзипчук В.Р.)
Денисюк В.Ю.
Назва методичних вказівок
Методи та засоби контролю мікро- та наносистемної техніки
Бібліографічний опис методичних вказівок
Методи та засоби контролю мікро- та наносистемної техніки : метод. вказівки до практичних занять для здобувачів другого (магістерського) рівня вищої освіти освітньої програми «Мікро- та наносистемна техніка» галузі знань 17 Електроніка, автоматизація та електронні комунікації спец. 176 Мікро- та наносистемна техніка денної та заоч. форм навч. / уклад. В. Ю. Денисюк. Луцьк : ЛНТУ, 2024. 64 с.
Ключові слова
Скануючий зондовий мікроскоп, датчик, поверхня, зображення, роздільна здатність, спектроскопія, зонд, п’єзосканер, сигнал, керування.
Факультет
2021 Факультет комп’ютерних та інформаційних технологій
Кафедра
Кафедра автоматизації та комп'ютерно-інтегрованих технологій (ТФ)
Рік видання
2024
Видавець
Луцьк : ЛНТУ
Ініціали працівника
Денисюк Віктор Юрійович
Факультет працівника
2021 Факультет комп’ютерних та інформаційних технологій
Кафедра працівника
Кафедра автоматизації та комп'ютерно-інтегрованих технологій (ТФ)